用于经改良的研磨垫外形的闭回路控制

摘要

本文所描述的实施例使用调节扫描的闭环控制(CLC)，以在整个垫寿命期间跨垫实现均匀的沟槽深度移除。集成至调节臂中的传感器能够现场且实时地监控垫堆栈厚度。自厚度传感器的反馈用于修改跨垫表面的垫调节器驻留时间，从而校正随垫及盘老化而可能出现的垫外形中的漂移。垫外形CLC在连续调节情况下实现沟槽深度的均匀缩减，进而提供较长的消耗品寿命及降低的操作成本。

主权项

一种调节位于金属压板组件上的研磨垫的方法，所述方法包含：使所述研磨垫的表面与容纳在调节头中的调节盘接触；测量所述研磨垫的磨损外形，同时使所述调节盘跨所述研磨垫的所述表面扫描；将所述研磨垫的所测量磨损外形与目标磨损外形进行比较，其中所述目标磨损外形是非平面的；以及基于所述研磨垫的所测量磨损外形与所述目标磨损外形的所述比较来调整所述调节盘的驻留时间，其中使用感应传感器来测量所述研磨垫的所述磨损外形，所述感应传感器与调节臂耦接，其中，所述感应传感器的位置距所述调节盘为固定的非零距离，并且其中所述调节臂具有：与容纳所述调节盘的所述调节头耦接的远端；以及与支撑组件耦接的近端。