阵列基板及其检测方法和检测装置

摘要

本发明提供一种阵列基板，包括设置在基板上的待检测结构，所述待检测结构的下方设置有用于检测待检测结构是否断开的附加层，所述附加层的颜色与待检测结构的颜色不同并且图案形状一致。本发明还提供了一种用于上述阵列基板的检测方法和检测装置。通过本发明的阵列基板及其检测方法和检测装置，可以实现对阵列基板生产过程中出现的断开型不良的早期检测，从而可以尽早实现不良原因的发现和消除，提高生产效率和产品良率。

主权项

一种阵列基板，包括设置在基板上的待检测结构，其特征在于，所述待检测结构的下方设置有用于检测待检测结构是否断开的附加层，所述附加层的颜色与所述待检测结构的颜色不同，并且所述附加层的图案形状与所述待检测结构的图案形状一致。