发明名称 |
METHOD OF PRODUCING A SEMICONDUCTOR ELEMENT WITH SUBSTRATE ADAPTER, SEMICONDUCTOR ELEMENT WITH SUBSTRATE ADAPTER AND METHOD FOR CONTACTING A SEMICONDUCTOR ELEMENT |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen mindestens eines Halbleiterelements (10', 10", 10"') mit einem Substratadapter (35', 35", 35"'), umfassend die Schritte:
- Strukturieren eines elektrisch leitenden Metallelements (12),
- Aufbringen eines Kontaktierungsmaterials (11) auf eine erste Seite (13) eines Halbleiterelements (10), wobei das Halbleiterelement (10) mit einer zweiten Seite (14) auf einem Transportelement (20) angeordnet ist,
- Positionieren des strukturierten Metallelements (12) und des Halbleiterelements (10) derart, dass eine erste Seite (21) des strukturierten Metallelements (12) und die mit dem Kontaktierungsmaterial (11) versehene erste Seite (13) des Halbleiterelements (10) gegenüber angeordnet sind, und
- Fügen des strukturierten Metallelements (12) mit dem mit Kontaktierungsmaterial (11) versehenen Halbleiterelement (10). |
申请公布号 |
EP3026702(A1) |
申请公布日期 |
2016.06.01 |
申请号 |
EP20150185314 |
申请日期 |
2015.09.15 |
申请人 |
HERAEUS DEUTSCHLAND GMBH & CO. KG |
发明人 |
BLEIFUSS, MARTIN;HINRICH, ANDREAS;KLEIN, ANDREAS;SCHÄFER, MICHAEL;WIESELER, ELISA |
分类号 |
H01L23/492;H01L21/683;H01L23/49 |
主分类号 |
H01L23/492 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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