硫化镉薄膜及具有硫化镉薄膜的太阳能电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种硫化镉薄膜的制备方法，包括步骤：提供硫化镉薄膜；在硫化镉薄膜上形成氯化镉薄膜；以及在氯化镉气氛中进行热处理。通过以上制备方法，有效地减小了硫化镉薄膜的氧化，得到的硫化镉薄膜在衬底上横向结晶，且晶粒紧密排列。在应用于碲化镉太阳能电池中时，使得薄膜保持较高的禁带宽度，减少了电池短路的可能性,并进一步提高了电池的短路电流，载流子的收集效率和电池P-N结的品质，从而提升了太阳能电池的转换效率。

主权项

一种硫化镉薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供硫化镉薄膜；在硫化镉薄膜上制备氯化镉薄膜；以及在氯化镉气氛中进行热处理，所述热处理的温度范围为390‑430℃，所述热处理的时间范围为10‑30分钟，所述热处理的载气为惰性气体和氧气的混合气体，气压范围为2‑50kPa，氧气分压小于50％；去除残留的氯化镉薄膜。