发明名称 具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪
摘要 本发明提供了一种具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪,包括:亚波长滤波单元阵列和光电探测器阵列,光电探测器阵列设置在亚波长滤波单元阵列的出光侧,亚波长滤波单元阵列包括基底和附着在基底上的金属膜,金属膜上设置有多个呈阵列排列的开口,每行开口之间的开孔周期由亚波长金属孔阵列的光谱透射特性确定。本发明结构简单、无需机械移动、所有光学元件共光轴,便于集成,采用纳米量级薄膜,解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。
申请公布号 CN105628199A 申请公布日期 2016.06.01
申请号 CN201410579188.X 申请日期 2014.10.26
申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明人 杨正;崔钧;夏良平;尹韶云;史浩飞;杜春雷
分类号 G01J3/28(2006.01)I 主分类号 G01J3/28(2006.01)I
代理机构 成都赛恩斯知识产权代理事务所(普通合伙) 51212 代理人 朱月仙
主权项 一种具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪,其特征在于,包括:亚波长滤波单元阵列(1)和光电探测器阵列(2),所述光电探测器阵列(2)设置在所述亚波长滤波单元阵列(1)的出光侧,所述亚波长滤波单元阵列(1)包括基底(3)和附着在所述基底(3)上的金属膜(4),所述金属膜(4)上设置有多个呈阵列排列的开口(5),每行所述开口(5)之间的开孔周期根据所述亚波长滤波单元阵列(1)的光谱透光特定性确定。
地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号