可用于动态心电测量的柔性心电电极及制作方法

摘要

本发明提供了一种可消除皮肤电干扰的可用于动态心电测量的柔性心电电极。该电极主要由柔性衬底(1)、硬质微针阵列(2)、导电层(3)和绝缘层(4)构成。所述微针阵列采用PDMS与硅直接键合结合划片以及湿法刻蚀而成。柔性衬底可以使得电极更加牢靠的贴合在皮肤表面，除微针针尖部位与电极背面留出连接引线的部分外，其他部分均用Parylene绝缘包裹。这种设计的目的是让除电极针尖外的其他部位与皮肤处于绝缘状态，只有电极的尖端在角质层下方部位耦合电生理信号，具有高的信噪比。

主权项

一种可用于动态心电测量的柔性心电电极，该柔性心电电极由柔性衬底(1)、硬质微针阵列(2)、导电层(3)和绝缘层(4)构成，所述硬质微针阵列(2)直接键合在柔性衬底(1)上，所述导电层(3)设于所述柔性衬底(1)和硬质微针阵列(2)上，所述绝缘层(4)设于导电层(3)上，所述柔性衬底(1)的材料为聚二甲基硅氧烷PDMS，所述硬质微针阵列(2)的材料为硅，所述导电层(3)的材料为钛/金，所述绝缘层(4)的材料为聚对二甲苯Parylene，所述电极被聚对二甲苯Parylene绝缘层(4)包裹，只有微针阵列(2)针尖区域和电极背面部分区域暴露出导电层(3)。