Process and method for modifying polymer film surface interaction

摘要

본 발명은 폴리머 막 표면 상호작용 특성들의 변형을 제공한다. 이 공정에서 폴리머 운반 물체는 광중합성 화합물들, 중합을 개시할 수 있는 능력을 가진 광개시제들 또는 촉매들 및 반-불소화 분자들을 포함하는 화학적 조성물에 의해 덮인다. 이렇게 만들어진 폴리머 주형은 주로 표면상에 위치하고 패턴화된 표면의 표면 근처 영역 상에 위치하는 반-불소화 모이어티들을 함유한다. 폴리머 주형은 나노-임프린트 리소그래피 공정에서 변형된 특성들을 가진 주형으로서 적합하다.