SCANNING PROBE MICROSCOPE WITH COMPACT SCANNER

摘要

헤드를 포함하는 주사형 탐침 현미경(SPM)을 위한 스캐너는 액츄에이터, 및 스캐너 이동을 탐지하는 센서를 구비하는 스캐너 몸체를 구비한다. 스캐너 몸체는 도구들의 이용 없이 손으로 헤드로부터 제거 가능하고 약 5 세제곱 인치보다 작은 총 부피를 구비한다. 스캐너에 결합된 프로브 디바이스의 이동은 실질적으로 의도된 방향으로만 제한되는 것을 보증하기 위해 제공된다. 스캐너를 위한 기본적인 공진 주파수는 10 kHz보다 클 수 있다.