| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따른 기계적으로 디커플링된 계측 플레이트를 구비한 프로젝션 시스템 및 방법은 열적, 기계적 효과로 인한 생성 이미지의 오정렬 및 수차를 특징짓고 보상하는데 사용될 수 있다. 계측 플레이트상의 센서는 생성 이미지로 기판의 노광 중 이미지와 기판에 대한 계측 플레이트의 위치를 측정한다. 센서로부터의 데이터는 정렬 오류 및 수차-유도 오류를 수정 또는 보상하도록 프로젝션 광학계 및/또는 기판을 역학적으로 조절하는데 사용된다. 종래의 시스템 및 방법과 비교했을 때, 본원에 기술한 프로젝션 시스템 및 방법은 더 큰 설계 유연성 및 기계적 안정성과 열적으로 유도된 팽창에 대해 완화된 제약을 제공한다. 게다가, 디커플링된 계측 플레이트는 2개 이상의 대물렌즈를 동시에 그리고 독립적으로 정렬하는데 사용될 수 있다. |
