| 摘要 |
본 개시물의 실시예들은, 덮개 및 액츄에이터 조립체를 갖는 이송 챔버에 관한 것이다. 덮개는 이송 챔버에 회전 가능하게 커플링될 수 있고, 액츄에이터 조립체는, 이송 챔버의 내부로의 액세스를 허용하기 위해 덮개를 개방 및 폐쇄할 수 있다. 액츄에이터 조립체는 일반적으로, 덮개 및 챔버 본체에 아암들을 커플링시키는 브라켓들을 포함한다. 복수의 샤프트들 및 기어 박스들은 아암들과 모터 사이에 커플링될 수 있다. 모터는, 덮개를 개방 및 폐쇄하기 위해 샤프트들을 회전시킬 수 있다. 덮개 포지션을 결정하기 위한 센서가 또한 개시된다. |
