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실링 시스템이 개시된다. 하나의 이러한 실링 시스템은 제1 진공 챔버 및 제2 진공 챔버를 포함한다. 이 실링 시스템은 근접단 및 말단을 갖는 제1 실링 유닛을 포함하는 데, 제1 실링 유닛의 근접단은 제1 진공 챔버상에 배치된다. 이 실링 시스템은 말단 및 근접단을 갖는 제2 실링 유닛을 포함하는 데, 제2 실링 유닛의 말단은 제1 실링 유닛의 말단상에 배치되고 제2 실링 유닛의 근접단은 제2 진공 챔버상에 배치된다. 하나의 실링 유닛은 볼록한 반면, 다른 실링 유닛은 오목하다. 실링 시스템은 또한 제1 오링, 제2 오링 및 제3 오링을 포함한다. |
