レーザー光に対して透明な固体媒体とターゲットとの間に挟まれた流体流路を有してターゲット上でレーザーショックピーニングを実施するためのシステム及び方法

摘要

本発明は、ターゲット上でレーザーショックピーニングを実施するためのシステムに関連している。システムは、レーザーパルスを発生させ、且つターゲットに送達するためのデバイス、及び入口と出口との間に配置された流体流路に流体を供給するための流体源を含む。レーザーパルスが通過することを可能にするように、入射レーザー光に対して透明な固体媒体がレーザー経路内に位置される。使用中に、流体が固体媒体及びターゲットと直接接触し、その結果、レーザーパルスの通過経路において如何なる空気−流体界面を除去するように、流体流路は、レーザーショックピーニング工程の間に、固体媒体とターゲットとの間に挟まれている。レーザーパルスがターゲットをたたいた後に発生するプラズマ／蒸気泡の崩壊に際し、流体層におけるキャビテーションを通した二次ショック事象が起こるように、流体は一定の厚さを有した流体流路に供給される。