发明名称 Wire saw
摘要 본 발명은, 절단용 와이어를 이용해 소재를 절단하는 와이어 소이며, 와이어 장력의 높은 응답성으로 실시하는 것이 가능한 것을 제공한다. 이 실톱은 제1 및 제2 소재 절단부(1A, 1B)를 구비한다. 각 소재 절단부(1A, 1B)는, 각각 한 벌의 가이드 롤러(10a, 10b)를 포함하고, 이것들에 와이어(W)가 걸리는 일에 의해 소재 절단용 와이어군이 형성된다. 이 실톱은, 추가로 소재 절단부(1A, 1B)끼리의 사이에서 와이어(W)의 장력을 검출하는 장력 검출기(18)와 제어장치(50)를 갖춘다. 제어장치(50)는 장력 검출기(18)가 검출하는 장력에 근거하여, 해당 장력을 허용 범위 내에 있도록 적어도 한쪽의 소재 절단부의 가이드 롤러(10 a, 10 b)의 회전 속도를 변경한다.
申请公布号 KR101625710(B1) 申请公布日期 2016.05.30
申请号 KR20127023014 申请日期 2010.02.08
申请人 토요 어드밴스드 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 发明人 요시야마 토요히로;이마쿠루수 쇼지;요시무라 히로유키;하마사키 타쯔미
分类号 H01L21/304;B24B27/06;B28D5/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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