发明名称 Method of cutting workpiece with wire saw and wire saw
摘要 본 발명은, 실톱에 있어서의 와이어의 장력을 소정의 목표 장력에 가까이 하기 위한 장력 조정장치를 이용하여 권취측 와이어의 장력만을 유효하게 저감하면서 효율적으로 또한 고정밀도로 소재의 절단을 실시하는 방법을 제공한다. 상기 방법은, 와이어(W)를 전진시키면서 소재(28)를 절단하는 전진구동 절단공정과, 와이어(W)의 구동 방법을 반전시키기 위한 제1 전환공정과, 와이어(W)를 후퇴시키면서 소재(28)를 절단하는 후퇴구동 절단공정과, 와이어(W)의 구동 방향을 반전시켜 상기 전진구동 절단공정에 복귀하기 위한 제2 전환공정을 포함하고, 이들이 순서대로 반복적으로 수행된다. 상기 양 절단공정에서는 장력 조작장치(18 A, 18 B)에 의해 권취측의 와이어 장력만 내릴 수 있다. 그 때문에 와이어 목표 장력의 저하는 각 전환 공정에 대하여 와이어(W)의 감속이 종료하고 나서 행해진다.
申请公布号 KR101625709(B1) 申请公布日期 2016.05.30
申请号 KR20127023013 申请日期 2010.02.08
申请人 토요 어드밴스드 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 发明人 오야 준;하마사키 타쯔미;요시무라 히로유키;후쿠만 마사루
分类号 H01L21/304;B24B27/06;B28D5/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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