| 摘要 |
측면 게이트를 구비하는 나노와이어 공진기를 개시한다. 개시된 나노와이어 공진기에 따르면, 나노와이어 진동부를 압전 재료로 구성하거나 또는 일반적인 나노와이어에 압전 재료를 코팅하고, 상기 진동부의 양측에 측면 게이트를 더 배치함으로써, 진동부의 강성도를 증가시킬 수 있다. 진동부의 강성도가 증가하게 되면, 진동부의 공진 주파수가 더욱 증가하게 되어 나노와이어 공진기의 Q 팩터가 증가될 수 있다. 따라서, 개시된 나노와이어 공진기는 진동부에 흡착된 물질의 질량을 더욱 높은 측정 정밀도로 측정 가능하게 할 수 있다. |
