PLATE FOR SEPARATING PARTICLES AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

본 발명은 미세 입자 분리를 위하여 사용될 수 있는 미세 입자 분리용 플레이트 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정에 의하여 2차원적으로 평판 타입으로 제조되어 미세 입자 표면에 부착능이 우수할 뿐만 아니라, 구성하는 층의 종류에 따라 원하는 물성을 부여함으로써 미세 입자에 대한 분리능이 우수한 새로운 구조의 미세 입자 분리용 플레이트 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.