发明名称 PROCEDE AMELIORE DE MISE EN CONTRAINTE D'UNE ZONE DE CANAL DE TRANSISTOR
摘要 Procédé de mise en contrainte d'une zone de canal d'un transistor comprenant des étapes de : a) formation de blocs (30b, 30c) de contrainte agencés de manière à induire une contrainte donnée dans une zone semi-conductrice (12a), b) former sur cette zone semi-conductrice (12a) un empilement de grille comprenant un matériau de diélectrique ayant un module d'Young élevé déposé sur et en contact avec le matériau semi-conducteur, c) retirer au moins partiellement les blocs de contrainte (30b, 30c)
申请公布号 FR3029011(A1) 申请公布日期 2016.05.27
申请号 FR20140061429 申请日期 2014.11.25
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 发明人 REBOH SHAY;MATHIEU BENOIT
分类号 H01L21/335 主分类号 H01L21/335
代理机构 代理人
主权项
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