Non-Volatile Memory Device

摘要

비휘발성 메모리 소자가 제공된다. 이 소자는 기판, 기판 상의 터널 유전막, 터널 유전막 상의 트랩 절연막, 트랩절연막 상의 고정 전하막, 고정 전하막 상의 블로킹막, 블로킹막 상의 게이트 전극을 포함한다. 상기 블로킹막은 상기 고정 전하막과 다른 물질을 포함한다.