| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de détermination de la résistance électrique (Rsh) d'une couche cible (9) recouverte d'une couche superficielle (10) isolante, le procédé utilisant une mesure colinéaire à pointes multiples (1, 2, 3, 4), le procédé comportant les étapes suivantes : - disposer un ensemble de pointes (1, 2, 3, 4) à la surface (12) de la couche superficielle (11); - réaliser un contact électrique entre chaque pointe (1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8) de l'ensemble de pointes et la couche conductrice (9) par le biais d'au moins deux claquages électriques, chaque claquage électrique étant réalisé en appliquant une différence de potentiel (U+-U-) entre deux pointes de l'ensemble de pointes; - appliquer un courant (I+) entre une pointe d'entrée et une pointe de sortie (I-); - mesurer une différence de potentiel (V+-V-) entre deux des pointes de l'ensemble de pointes ; - calculer une résistance de couche (Rsh) à partir de la valeur du courant appliqué (I+-I-) et de la différence de potentiel mesurée (V+-V-). |
