| 摘要 |
ここで提案されているのは、媒体（２０５）の誘電特性を特定するためのセンサ（１０）である。センサ（３００）は、少なくとも１つのスルーコンタクト部（２０３，２０４）を有する基板（３０１，３０２）と、基板（３０１）の上側表面に対して平坦に配置されている導波器（１２）とを有している。この導波器（１２）は、少なくとも１つのスルーコンタクト部（２０３、２０４）を介して分析装置（２０）に接続可能である。さらに、導波器（１２）は、分析装置（２０）から入力信号を受信して、この分析装置（２０）に出力信号を送出するように構成されており、導波器（１２）と媒体（２０５）とが接触接続する際の、上記の入力信号および出力信号の特性は、媒体（２０５）の誘電特性を示している。導波器（１２）を基板（３０１）に対して平坦に配置することにより、一層広い測定範囲および一層改善された測定精度が可能になる。さらに上記の平坦な構造により、コンパクトな構成が得られる。さらに本発明ではセンサ装置およびセンサを用いて媒体の誘電特性を特定するための方法が提案される。 |
