充電モニタリングを使用しメモリセルを形成する装置及び方法

摘要

メモリセルを形成する装置及び方法が開示される。その一方法において、抵抗変化型ＲＡＭ（ＲＲＡＭ）メモリセルなどのメモリセルに印加される形成電荷がモニタされてセルの形成の進行を判定する。セルが非常に遅く電荷を消費している場合には、より高い電圧が印加される。セルが非常に速く電荷を消費している場合には、より低い電圧が印加される。コンデンサを所定レベルに充電してからセルを介したコンデンサの放電速度をモニタすることによって電荷がモニタされる。モニタリングは、コンパレータを用いて電荷を測定することができる。モニタリングはまた、アナログ−デジタルコンバータを用いてモニタリングを実行することもできる。【選択図】図１