| 摘要 |
本発明で開示する技術は、ムラとして知られる視認可能なアーティファクトを減少させるために使用可能な、方法及びシステムに関する。特に、ワーク上における露光感光材料若しくは放射感応材料の層の外観を物理的に変化させることでアライメントマークを形成し、その後、書込システム内のワークの物理的な動きに続いて、複数回の露光書込間において書込座標系の再アライメントを行うために、それらのアライメントマーク、又はそれらのマークの転写正画像若しくは転写反転画像を使用することに関する。記載される物理的変化は、層の中にマークを機械的に押して付けることを含み、その層のアッシング若しくはアブレーションを行うためにレーザを使用するか、そのレーザの表面に対してインク若しくは他の物質を付与する。 |
