发明名称 観察撮影装置
摘要 研磨機構(20)が付属する観察撮影装置が開示される。研磨機構(20)は、回転軸(23)が鉛直である回転盤(24)と、この回転盤(24)の下面に取付けられ試料(15)の表面を研磨する研磨布(26、27)と、この研磨布(26、27)より下に配置され上向きに研磨材を含む研磨液を噴射して研磨布(26、27)を濡らす研磨液噴射ノズル(31、33)とを備えている。
申请公布号 JPWO2013191165(A1) 申请公布日期 2016.05.26
申请号 JP20140521474 申请日期 2013.06.18
申请人 国立大学法人 鹿児島大学;株式会社中山電機 发明人 足立 吉隆;中山 誠
分类号 B24B37/00;B24B37/34;B24B49/12;C25F7/00 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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