| 摘要 |
본 발명은 기판의 타겟면 상에 반도체 디바이스들의 대향하는 행들 사이에서 연장하는 스크라이브레인을 따라 대체로 평면인 반도체 기판을 방사적으로 스크라이빙하기 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 스크라이브레인은 제 1 방향과 평행하게 연장하는 길이 및 제 2 방향과 평행하게 연장하는 폭을 가지며, 상기 제 1 및 제 2 방향은 각각 직교 좌표계의 X 및 Y축과 평행하게 위치되고, - 상기 기판을 보유하기 위한 기판 홀더와; - 여러 광빔들의 조절 가능한 어레이를 생성하기 위한 조명기와; - 상기 기판 홀더 상에 보유될 때 상기 기판의 상기 타겟면 위로 상기 광빔들을 집속하기 위한 투영 시스템과; - XY 평면과 평행한 상기 광빔들에 대한 상기 기판 홀더의 상대 변위를 발생시키기 위한 액추에이터 시스템을 포함하며, 상기 조명기와 상기 기판 홀더 사이에 위치하는 조절 가능한 공간 필터를 추가로 포함하며, 상기 공간 필터는 복수의 전동 플레이트들을 포함하며, 상기 전동 플레이트들의 위치는 상기 어레이의 선택 가능한 광빔들을 적어도 부분적으로 차단하도록 조절될 수 있다. |
