複合被膜粒子粒径を有する被膜の形成方法およびこれによる被膜

摘要

【課題】本発明の一実施例は複合被膜粒子粒径を有する被膜の形成方法およびこれによる被膜に関する。【解決手段】本発明は粉末供給部から粉末の第１粒径範囲を有する多数の粉末が供給され、移送ガスを利用して前記粉末を移送する段階と、前記移送された粉末を工程チャンバー内の基材に１００乃至５００ｍ／ｓの速度で衝突および破砕させて、被膜の第１粒径範囲を有する多数の第１粒子と、前記被膜の第１粒径範囲より大きい被膜の第２粒径範囲を有する多数の第２粒子とが混合された被膜を形成する段階とを含み、前記第１粒子の被膜の第１粒径範囲は２００ｎｍ乃至９００ｎｍであり、前記第２粒子の被膜の第２粒径範囲は９００ｎｍ乃至１０μｍである複合被膜粒子粒径を有する被膜の形成方法およびこれによる被膜を開示する。【選択図】図１