发明名称 |
感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、有機EL表示装置および液晶表示装置 |
摘要 |
現像時および硬化膜として使用した際の基板との密着性を達成できる感光性樹脂組成物の提供。(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体、(B)非イオン性光酸発生剤、(C)下記一般式(S)で表される化合物(式中、R1は窒素原子を少なくとも1つ以上含む基を表し、Aは2価の連結基を表し、R2は有機基を表す。)、(D)溶剤、ならびに、(E)アルコキシシラン化合物を含有する。一般式(S) |
申请公布号 |
JPWO2013191155(A1) |
申请公布日期 |
2016.05.26 |
申请号 |
JP20140521467 |
申请日期 |
2013.06.18 |
申请人 |
富士フイルム株式会社 |
发明人 |
山▲ざき▼ 健太;疋田 政憲;霜山 達也;川島 敬史;山田 悟;米澤 裕之 |
分类号 |
G03F7/085;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;H01L51/50;H05B33/22 |
主分类号 |
G03F7/085 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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