照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法

摘要

照明装置は、長方形の第１面、内面、及び長方形の第２面を有し、前記第１面に入射した光が前記内面での多重反射を介して前記第２面から出射する、光インテグレータと、光源からの光を前記光インテグレータに導く導光部であり、前記第１面の長手方向に沿って所定の間隔で並ぶ複数の光束を前記光インテグレータに供給する、前記導光部と、前記第２面の短手方向に関して前記第２面と共役な共役面を形成し、前記第２面の短手方向に関する屈折力に比べて前記第２面の長手方向に関する屈折力が小さい結像光学系と、を備える。