| 摘要 |
유리 기판 가공 장치는 요소점을 갖는 유리 기판을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지의 상방에 배치되며, 상기 유리 기판을 가공하기 위한 스핀들과, 상기 스테이지의 상방에 배치되며, 상기 유리 기판의 요소점을 촬영하기 위한 카메라와, 상기 유리 기판에 대한 데이터를 저장하는 저장부와, 상기 카메라에서 촬영된 상기 이미지들에서 상기 유리 기판의 각 모서리를 이루는 두 변에 위치하는 임의 지점의 좌표들을 획득하는 좌표 획득부와, 상기 유리 기판의 데이터와 상기 좌표들을 이용하여 상기 스테이지의 기준 좌표계를 기준으로 상기 유리 기판의 중심점 위치와 상기 유리 기판의 기울기를 연산하는 제1 연산부와, 상기 유리 기판의 중심점 위치와 상기 유리 기판의 기울기에 따라 상기 유리 기판의 가공 경로를 연산하는 제2 연산부 및 상기 가공 경로에 따라 상기 스핀들 및 상기 스테이지를 작동하는 제어부를 포함할 수 있다. |
