一种X射线探测基板及其制备方法、X射线探测设备

摘要

本发明涉及到X射线探测设备的技术领域，公开了一种X射线探测基板及其制备方法、X射线探测设备。该探测基板包括：衬底，设置在衬底上的薄膜晶体管及光电二极管、设置在光电二极管上并将X射线转换成可见光的转化层以及设置在转化层上的具有多个透光窗口的封装层，光电二极管与其中一个透光窗口的设置位置相对应，光电二极管朝向透光窗口的一侧设置有聚光透镜。在上述技术方案中，X射线在转化层上转换成可见光，之后通过聚光透镜射入到光电二极管，最终转换成电信号，在整个转换过程中通过微透镜提高了聚光的效果，从而使得更多的光线能够通过聚光透镜射入到光电二极管中，提高了量子效率，改善了成像效果。

主权项

一种X射线探测基板，其特征在于，包括：衬底，设置在所述衬底上的薄膜晶体管，与所述薄膜晶体管连接的光电二极管；还包括设置在所述光电二极管上并将X射线转换成可见光的转化层以及设置在所述转化层上的封装层，且所述封装层具有多个透光窗口；其中，所述光电二极管与其中一个透光窗口的设置位置相对应，所述光电二极管朝向所述透光窗口的一侧设置有用于聚拢所述转化层转化后的光线的聚光透镜；所述转化层与所述薄膜晶体管之间设置有用于反射照射到所述薄膜晶体管上的光线的第一反射层，所述封装层上设置有用于将所述第一反射层反射后的光线反射到所述聚光透镜上的第二反射层。