导热装置与蒸镀坩埚

摘要

本发明提供一种导热装置与蒸镀坩埚，所述导热装置包括一导热筒与安装于该导热筒上的数个导热片而呈辐射状，或包括一辐射状的导热筒而呈辐射状，通过在蒸镀坩埚中放入上述导热装置，经由导热装置的传热路径，可以使坩埚壁上的热量均匀的传递至坩埚的内部及中心，有利于提高坩埚内部材料受热的均匀性，使得材料的蒸镀状态保持稳定，提高蒸镀效果；且该导热装置易加工，成本低，导热效果好，安装拆卸方便。

主权项

一种导热装置，其特征在于，包括一导热筒(10)与安装于该导热筒(10)上的数个导热片(20)，其中，所述导热筒(10)的侧壁与导热片(20)上均设有数个通孔(30)。