一种薄膜开关及其制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜开关及其制备方法，利用薄膜的导体-绝缘体-导体式的以反熔丝为基础的电容器作为关断开关，通过在上下导体加特定电压或电流将绝缘体击穿形成永久通道，从而使开关导通。该薄膜开关具有超薄外形、超小形状因数、非常轻、极低功率、低成本；上千个这样的开关能够轻松的整合到一个单一的封装里；具有智能控制逻辑的智能开关能够整合到一个单一的封装里。

主权项

一种薄膜开关，其特征在于：所述薄膜开关利用以反熔丝为基础的电容器作为关断开关,所述薄膜开关包括面板、上电路、隔离层和下电路，所述上电路为导体层，所述隔离层为绝缘体层，所述下电路为导体层，所述导体层和绝缘层通过薄膜形成工艺在支持基质上形成。