一种衰减片的制作方法

摘要

本发明属于衰减片生产加工领域，具体涉及一种功率为2瓦的1dB衰减片的制作方法，包括以下步骤：采用HFSS软件仿真、设计出衰减片图形；在氧化铝陶瓷基片上溅射电阻和电极层；电镀加厚金电极；光刻出电极和电阻图形；砂轮划片，分割出独立衰减片单元；用热氧化调阻的方法调整输入、输出阻抗；在衰减片的输入、输出端涂覆导电银浆料。采用本发明的方法制作的衰减片，使用频率能达到18GHz，在使用频率内的衰减精度1dB±0.4dB，驻波比≤1.3，输入、输出阻抗50±1Ω。

主权项

一种衰减片的制作方法，其特征在于包括以下步骤：步骤（101）、采用HFSS软件仿真、设计出衰减片图形；步骤（102）、在氧化铝陶瓷基片上溅射电阻和电极层；步骤（103）、电镀加厚金电极；步骤（104）、光刻出电极和电阻图形；步骤（105）、砂轮划片，分割出独立衰减片单元；步骤（106）、用热氧化调阻的方法调整输入、输出阻抗；步骤（107）、在衰减片的输入、输出端涂覆导电银浆料。