一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置

摘要

本发明公开了一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置，涉及微探针尖端加工制造领域。该装置包括：激光发生器、圆锥反射镜、环形激光反射腔、激光吸收器、微探针支架和位移平台。所述的激光发生器发出的激光束经过圆锥反射镜的反射后形成环形光进入环形激光反射腔中，再在环形激光反射腔的作用下汇聚到微探针尖端对其加工。采用该方法对微探针进行热加工，能够使微探针尖端均匀受热，提高应力分布均衡性，加工后的微探针不弯曲、不变形，具有高几何对称精度，有利于形成高质量的微探针尖端形貌，满足微细加工及精密测量对微探针尖端几何形貌的精度要求。

主权项

一种基于环形反射腔汇聚激光束的微探针尖端热加工装置，主要由激光发生器（1）、圆锥反射镜（2）、环形激光反射腔（3）、激光吸收器（5）、微探针支架（6）和位移平台（7）组成；其特征是：    所述的激光发生器（1）、圆锥反射镜（2）、环形激光反射腔（3）沿Y轴方向依次设置，且其轴线与Y轴重合；所述的圆锥反射镜（2）与环形激光反射腔（3）连接；所述的微探针支架（6）与位移平台（7）连接；所述的微探针支架（6）和位移平台（7）位于环形激光反射腔（3）和激光吸收器（5）之间；    所述的激光发生器（1）发出的激光束经圆锥反射镜（2）的反射形成环形光，再经过环形激光反射腔（3）的反射，汇聚到Y轴上的a点处。