利用多位置控制的连续激光加工方法及使用该方法的系统

摘要

本发明公开了激光加工方法和使用其的激光加工系统。激光加工方法包括：第一步骤，获得复数个加工对象图案中相邻的多个图案的中间位置；第二步骤，使低速驱动器移动至所述中间位置；以及第三步骤，在所述中间位置中驱动高速驱动器，从而加工所述多个加工图案，其中，重复所述第一步骤至所述第三步骤，从而对所述复数个加工对象图案进行激光加工。

主权项

一种利用高速驱动器和低速驱动器进行的激光加工方法，其特征在于，所述方法包括：基于相邻的多个图案中的至少一个图案来设定加工区域；获得所述加工区域内的至少一个图案的中间位置，并将所述低速驱动器定位在所述中间位置；以及在所述低速驱动器开始向中间位置移动后，所述高速驱动器对至少一个加工图案进行加工。