| 发明名称 | 研磨用组合物及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够减少雾度及表面缺陷的研磨用组合物。根据本发明，可提供包含水溶性合成高分子M<sub>L-end</sub>的研磨用组合物，所述水溶性合成高分子M<sub>L-end</sub>在主链的至少一个端部具有疏水性区域。前述疏水性区域具有来自聚合引发剂的至少1个疏水性基团。 | ||
| 申请公布号 | CN105612236A | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201480053942.4 | 申请日期 | 2014.09.22 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 土屋公亮;森嘉男 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;B24B37/00(2012.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其包含水溶性合成高分子M<sub>L‑end</sub>，所述水溶性合成高分子M<sub>L‑end</sub>在主链的至少一个端部具有疏水性区域，所述疏水性区域具有来自聚合引发剂的至少1个疏水性基团。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||