发明名称 |
液体电容式倾斜微传感器 |
摘要 |
本发明公开了一种液体电容式倾斜微传感器,包括:一对差动电极,一共享电极,三者形成在一密闭空间内且实质上位于同一平面,并在该密闭空间中封入覆盖液体;其中,所述一对差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分。本发明还公开了该传感器的制造方法。 |
申请公布号 |
CN103712600B |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201210377858.0 |
申请日期 |
2012.10.08 |
申请人 |
硕英股份有限公司 |
发明人 |
陈荣祥;陈政赐;陈柏廷 |
分类号 |
G01C9/00(2006.01)I;G01C9/18(2006.01)I |
主分类号 |
G01C9/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛诚知识产权代理有限公司 11298 |
代理人 |
陈波;文琦 |
主权项 |
一种液体电容式倾斜微传感器,包括:一对差动电极,一共享电极,该一对差动电极和该共享电极形成在密闭空间内,且实质上位于同一平面,并在该密闭空间中封入覆盖液体;其特征在于,该对差动电极的轮廓分别形成圆形的一部分且该对差动电极的组成轮廓形成圆形的一部分,并且所述共享电极形成在所述差动电极的中心部分并且形成到所述差动电极的圆周的附近。 |
地址 |
中国台湾台北市 |