形成图案化掺杂区的方法

摘要

本发明公开一种形成图案化掺杂区的方法，其包括：提供一基底；形成一第一型态掺杂材料于基底上；形成一第二型态掺杂材料于基底上，其中第一型态掺杂材料与第二型态掺杂材料相隔一间距；形成一覆盖层，覆盖基底、第一型态掺杂材料和第二型态掺杂材料；及进行一热扩散制作工艺，使第一型态掺杂材料和第二型态掺杂材料扩散入基底中。

主权项

一种形成图案化掺杂区的方法，包括：提供一基底；形成一第一型态掺杂材料于该基底上，其步骤包括：提供一包括一第一开口的第一掩模于该基底上；喷涂一第一型态掺杂材料于该第一掩模上且填入该第一开口中；进行一热制作工艺，使该第一型态掺杂材料形成胶态或固态的化合物；及移除该第一掩模；形成一第二型态掺杂材料于该基底上，其步骤包括：提供一包括第二开口的第二掩模于该基底上；喷涂一第二型态掺杂材料于该第二掩模上且填入该第二开口中；进行一热制作工艺，使该第二型态掺杂材料形成胶态或固态的化合物；及移除该第二掩模，其中该第一型态掺杂材料与该第二型态掺杂材料相隔一间距；形成一覆盖层，覆盖该基底、该第一型态掺杂材料和该第二型态掺杂材料；及进行一热扩散制作工艺，使该第一型态掺杂材料和该第二型态掺杂材料扩散入该基底中。