涡轮分子泵

摘要

本发明是有关于一种涡轮分子泵，本发明的课题在于延缓因转子的温度上升而引起的蠕变速度。涡轮分子泵(1)在外壳构件(11)的内部包括转子翼(6)、定子翼(7)及间隔片(20)。使自最上段起第6段的间隔片(20a)的外周侧延伸至为大气压侧的外部侧，而形成到达基座(13)的上表面的冷却用厚壁部(21)。在冷却用厚壁部(21)设置冷却管(52)，另外，使冷却用厚壁部(21)的内周侧面与第7段、第8段间隔片(20)的外周侧面接触，而予以保持。通过在冷却管(52)内循环的冷却媒体，经由冷却用厚壁部(21)，使间隔片(20)、定子翼(7)及转子翼(6)冷却。

主权项

一种涡轮分子泵，包括：外壳构件；转子，收纳于所述外壳构件内，且具有多段地排列的转子翼；转子轴，与所述转子同轴地设置；多个定子翼，设置于所述外壳构件的内面，且配置于所述转子翼之间；及多个间隔片，支撑所述各定子翼；其特征在于：所述多个间隔片中的一个具有覆盖在上方或者下方所邻接的至少一个所述间隔片的外周侧面的冷却用厚壁部；在所述冷却用厚壁部设置着使冷却媒体循环的冷却管。