发明名称 分光模块
摘要 分光模块(1)中,由于本体部(2)为板状,因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且,由于本体部(2)为板状,因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即,通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆,以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状,并切割该玻璃晶圆,能够制造多个分光模块(1)。如此,能够容易地大量生产分光模块(1)。
申请公布号 CN105606215A 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201510551247.7 申请日期 2008.06.05
申请人 浜松光子学株式会社 发明人 柴山胜己;H·泰希曼;能野隆文;铃木智史;D·希勒;U·施塔克
分类号 G01J3/02(2006.01)I;G01J3/18(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I 主分类号 G01J3/02(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 杨琦;沈娟
主权项 一种分光模块,其特征在于,具备:使光透过的本体部;分光部,对从所述本体部的规定的面向所述本体部入射的光进行分光,并向所述规定的面侧反射;光检测元件,被支撑在所述规定的面上,检测被所述分光部分光并反射的光;以及配线,形成在所述规定的面上,与所述光检测元件电连接;所述本体部具有第一光透过部件和第二光透过部件,其中,所述第一光透过部件具有所述规定的面,所述分光部被设置在所述第二光透过部件上。
地址 日本静冈县