| 发明名称 | 一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，通过人为屏蔽感应器和简单的卡表计算就能精确校准阀门流量，减少了常规校准流量过程中的需停机、排液、校准的模式。节省了异常停机时间，从而提高生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN105609591A | 申请公布日期 | 2016.05.25 |
| 申请号 | CN201610116059.6 | 申请日期 | 2016.03.02 |
| 申请人 | 江西展宇新能源股份有限公司 | 发明人 | 黄明;杨晓琴;林振龙;陈园 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 36100 | 代理人 | 杨志宇 |
| 主权项 | 一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法，其特征在于：补液系统包括：液位管（1）、高液位（2）、工作液位（3）、标定液位（4）、低液位（5）、补液灌（6）、不透光纸片（7）和补液阀门（8）；液位管（1）和补液灌（6）相连，液位管（1）上从上至下依次设置有高液位（2）、工作液位（3）、标定额度（4）、低液位（5），高液位（2）和工作液位（3）旁设有不透光纸片（7），补液灌（6）底部设有补液阀门（8）。 | ||
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区金光大道8号 | ||