| 摘要 |
조사면 위의 소정의 조사 위치에, 제 1 방향으로 연장되고, 또한 제 2 방향으로 소정의 선 폭을 갖는 라인 형상의 광을 조사하는 광 조사 장치가 기판과, 기판 위에 제 1 방향을 따라 나열된 광원과, 각 광원으로부터의 광을 평행광이 되도록 정형하는 광학 소자를 갖는 복수의 광학 유닛을 구비하고, 복수의 광학 유닛은 조사면에 대하여 제 1 방향에 평행한 라인 형상의 광을 출사하는 복수의 제 1 광학 유닛 및 제 2 광학 유닛으로 이루어지고, 각 제 1 광학 유닛은 출사광이 소정의 집광 위치를 통과하고, 또한 조사면 상에서 선 폭 내에 들어가도록 배치되고, 각 제 2 광학 유닛은 출사광이 조사면 상에서 선 폭 내에 들어가도록 배치되고, 조사 위치로부터 연직 상방의 소정의 범위 내에서, 각 광학 유닛으로부터의 출사광의 에너지의 총합이 대략 일정하게 된다. |
