发明名称 |
涡电流厚度测量装置及方法 |
摘要 |
一种材质的薄板配置在相同材质的熔融物中。在一实例中,此薄板是利用冷却板来形成。激发线圈和感测线圈配置在冷却板的下游。此激发线圈和感测线圈使用涡电流来测定位于熔融物顶部的固体薄板的厚度。 |
申请公布号 |
CN103080388B |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
申请号 |
CN201180040439.1 |
申请日期 |
2011.07.18 |
申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
盖瑞·J·罗森;法兰克·辛克莱;亚历山大·苏考夫;詹姆士·S·贝福 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
臧建明;张洋 |
主权项 |
一种薄板形成装置,包括:一种材质的熔融物;所述材质的薄板,位于所述熔融物中,所述薄板的电阻率高于所述熔融物;冷却板,位于所述熔融物表面上方,其经配置以形成所述薄板;激发线圈和感测线圈,其配置在所述冷却板的下游,形成一涡电流测量系统以测量所述薄板的厚度;电源,其连接至所述激发线圈;以及控制器,其连接至所述涡电流测量系统,所述控制器提供即时程序控制以在所述薄板较所要厚度更厚时增加所述冷却板的温度,以及在所述薄板较所要厚度更薄时降低所述冷却板的温度。 |
地址 |
美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 |