| 发明名称 |
一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂及其制备方法 |
| 摘要 |
本发明公开了一种香豆素基磺酸酯类的光致产酸剂(光产酸)及其制备方法，所述光产酸由含有羟基的香豆素类化合物与磺酰氯进行酯化反应，得到本发明的光产酸。本发明光产酸在一定的紫外光下可以产生酸性物质。使用本发明光产酸制成的光刻胶能够在紫外光下显影，具有活性好，精度高的特点。 |
| 申请公布号 |
CN105607417A |
申请公布日期 |
2016.05.25 |
| 申请号 |
CN201511018166.7 |
申请日期 |
2015.12.30 |
| 申请人 |
苏州瑞红电子化学品有限公司;江南大学 |
发明人 |
李治全;朱桂刚;刘敬成;刘仁;穆启道;刘晓亚 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;C07D311/16(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种香豆素基磺酸酯类光致产酸剂，其特征在于所述光致产酸剂具有如下分子结构通式：<img file="FSA0000125367370000011.GIF" wi="642" he="378" />其中，R<sub>1</sub>为氢原子、C<sub>1</sub>～C<sub>8</sub>的脂肪烃基、C<sub>1</sub>～C<sub>8</sub>的烷氧基中的一种；R<sub>2</sub>为氢原子、C<sub>1</sub>～C<sub>6</sub>的脂肪烃基、C<sub>1</sub>～C<sub>6</sub>的烷氧基、‑CF<sub>3</sub>、‑C<sub>4</sub>F<sub>9</sub>中的一种；磺酸酯基团位于香豆素的3或4位。 |
| 地址 |
215128 江苏省苏州市吴中经济开发区民丰路501号 |
