显影装置

摘要

一种显影装置，包括：显影容器，用于容纳显影剂；上部盖部分，用于覆盖显影容器的顶表面；显影剂承载部件，由显影容器可旋转地支撑，用于承载和进给显影容器内的显影剂；层厚管控部件，提供于显影容器上，用于管控在显影剂承载部件上承载的显影剂的层厚；进给部件，在与显影剂承载部件相对的位置处可旋转地提供于显影容器内，用于进给显影容器中的显影剂；以及光透射部分，提供于上部盖部分中，用于允许光透射到显影容器内部，其中，光透射部分布置在这样的位置，在所述位置，当进入显影容器内部的光束由显影容器的旋转轴的表面规则反射时，被规则反射的光通过显影剂承载部件和层厚管控部件之间的间隙发射至显影容器的外部。

主权项

一种显影装置，包括：显影容器，用于容纳显影剂；上部盖部分，用于覆盖所述显影容器的顶表面；显影剂承载部件，所述显影剂承载部件由所述显影容器可旋转地支撑，用于承载和进给所述显影容器内的显影剂；层厚管控部件，所述层厚管控部件提供于所述显影容器上，用于管控在所述显影剂承载部件上承载的显影剂的层厚；进给部件，所述进给部件在与所述显影剂承载部件相对的位置处可旋转地提供于所述显影容器内，用于进给所述显影容器中的显影剂；以及光透射部分，所述光透射部分提供于所述上部盖部分中，用于允许光透射到所述显影容器内部，其中，所述光透射部分布置在这样的位置，在所述位置，当进入所述显影容器内部的光束由所述进给部件的旋转轴的表面规则反射时，被规则反射的光通过所述显影剂承载部件和所述层厚管控部件之间的间隙发射至所述显影容器的外部。