一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器

摘要

本发明公开了一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器，包括绝缘衬底、四个金属电极和过滤装置，所述的过滤装置为矩形盒盖状，其顶面上有过滤孔阵列，过滤装置通过其沿部覆盖在绝缘衬底的上端面上，过滤装置与绝缘衬底之间形成的空腔为电导池，四个金属电极均设置于电导池内的绝缘衬底上，四个金属电极分别通过连接引线与外界测试电路相连。与现有技术相比，本发明的有益效果是：克服了现有MEMS电导率传感器抗污染能力差、测量精度低的缺点；具有结构简单、体积小巧、功耗低、成本低、通用性强等优点，便于实现实时高精度的海水电导率测量。

主权项

一种带有过滤装置的MEMS海水电导率传感器，其特征在于：包括绝缘衬底、四个金属电极和过滤装置，所述的过滤装置为矩形盒盖状，其顶面上有过滤孔阵列，过滤装置通过其沿部覆盖在绝缘衬底的上端面上，过滤装置与绝缘衬底之间形成的空腔为电导池，四个金属电极均设置于电导池内的绝缘衬底上，四个金属电极包括由绝缘衬底一侧向另一侧依次设置且相互平行的第一金属电极、第二金属电极、第三金属电极和第四金属电极，四个金属电极均为长方体形，第一金属电极的尺寸与第四金属电极的尺寸相同，第二金属电极的尺寸与第三金属电极的尺寸相同，且第一金属电极的尺寸大于第二金属电极的尺寸，第一金属电极、第二金属电极与第三金属电极、第四金属电极相互对称，第二金属电极和第三金属电极之间的间距大于第一金属电极和第二金属电极之间的间距，其中第一金属电极和第四金属电极为电流电极，第二金属电极和第三金属电极为电压电极，四个金属电极分别通过连接引线与外界测试电路相连。