一种环境传感器、集成装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种环境传感器、集成装置及其制造方法，包括衬底，在所述衬底上设置有至少一个电阻器，在所述衬底的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层；还包括形成在所述第一绝缘层上的导电图案，在所述导电图案的上方设置有连接在导电图案中的环境敏感材料层。本发明的一种环境传感器，其结构简单，在敏感材料层的下方设置了电阻器结构，该电阻器通电后，其产生的热量可以通过氧化层传递至敏感材料层上，从而可以对敏感材料层进行加热除湿，或者是来调节环境传感器的工作温度，这不但提高了环境传感器的灵敏度，还提高了环境传感器的应用领域。

主权项

一种环境传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有至少一个电阻器，在所述衬底(1)的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层(3)；还包括形成在所述第一绝缘层(3)上的导电图案(6)，在所述导电图案(6)的上方设置有连接在导电图案(6)中的环境敏感材料层(8)。