发明名称 一种ZrNbAlN超晶格涂层及制备方法
摘要 本发明公开了一种ZrNbAlN超晶格涂层,以及涂有该涂层的刀具和工模具及制备方法。该超晶格涂层依次包括Zr粘附层,ZrN<sub>x</sub>过渡层,ZrN支持层以及ZrN/NbN/ZrN/AlN(ZrNbAlN)多层结构。本发明的涂有ZrNbAlN超晶格涂层的刀具和工模具,其涂层的硬度高、耐磨性好、摩擦系数低、高温结构及性能的稳定性好,抗氧化能力强。
申请公布号 CN103938157B 申请公布日期 2016.05.25
申请号 CN201410198397.X 申请日期 2014.05.12
申请人 重庆科技学院 发明人 石永敬;万新;潘复生;周安若;王联;王纯祥
分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;B23B27/00(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 代理人 刘佳
主权项 一种ZrNbAlN超晶格涂层,依次包含Zr粘附层、ZrN<sub>x</sub>过渡层、ZrN支持层和依次由ZrN层、NbN层、ZrN层及AlN层交替构成的多层结构的表面耐磨层,其中,X为0至1。
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