主权项 |
一种无损检测复合膜表面功能层厚度的方法,其特征在于它包括如下步骤:(1)选取复合膜样品,清洁表面的功能层;(2)分别以不同的加速能量加速正电子,并使正电子入射至样品,收集正负电子湮没所产生的伽马能谱,所述加速能量范围为0.5~10keV;(3)从伽马能谱中计算得到不同加速能量E下的正电子湮没特征参数R,所述R值为光子能量在365keV~495keV范围内的总计数与光子能量在506keV~516keV范围内的总计数的比值;(4)以0.4keV~0.7keV能量范围的加速能量E所测得的R值进行平均得到R<sub>top</sub>,以2.6keV~5.1keV能量范围的加速能量E所测得的R值进行平均得到R<sub>sub</sub>;(5)以<img file="FDA0000924761610000011.GIF" wi="268" he="183" />为纵坐标,以<img file="FDA0000924761610000012.GIF" wi="116" he="133" />为横坐标拟合加速能量E和对应R值的关系的关系式,所拟合的关系式的斜率为ρ<sup>2</sup>d<sup>2</sup>/A<sup>2</sup>,其中ρ为复合膜的密度,常数A为4.5μg/cm<sup>2</sup>keV<sup>‑1.6</sup>,根据所得斜率计算得到复合膜表面功能层厚度d。 |