发明名称 単結晶製造装置および単結晶製造方法
摘要 【課題】比較的良質な単結晶を効率良く製造可能とする。【解決手段】溶融帯域を冷却することにより単結晶を製造する単結晶製造装置において、光の照射によって原料から溶融帯域を形成する加熱部と、溶融帯域を非接触で支える支持部と、を備える技術を提供する。【選択図】図1
申请公布号 JP5926432(B1) 申请公布日期 2016.05.25
申请号 JP20150195534 申请日期 2015.10.01
申请人 阿久津 伸 发明人 阿久津 伸
分类号 C30B13/30;C30B13/24 主分类号 C30B13/30
代理机构 代理人
主权项
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