准直器装置及激光光源

摘要

本发明涉及一种准直器装置、激光光源及在先准直后聚焦具有宽光谱宽度的多色光的过程中用于减小聚焦分量的焦点位置的随波长变化的差值的其他装置。该激光光源包括准直器装置，在该准直器装置中，可以对从多色光光源发射出的激光束的出射处和由消色差透镜组成的准直透镜的相对位置进行10μm级别或更小级别的调节。

主权项

一种准直器装置，包括：激光入射单元，其设定激光束的入射位置；准直透镜，其准直从所述激光入射单元入射的所述激光束，并且所述准直透镜由消色差透镜组成；以及准直透镜设置单元，其设置所述准直透镜，其中，所述准直器装置还包括位置调节单元，所述位置调节单元能够对所述激光束的所述入射位置与所述准直透镜的设置位置之间沿所述激光束的光轴方向的距离进行10μm级别或更小级别的位置调节。